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仪器名称 起约时间(分钟) 预约费用
(元/预约时段)
仪器状态 详细信息
溅射镀膜仪 1h 院内50元/小时;校内80元/小时;校外100元/小时 开放 详细信息
智能型氦液化器 院内50元/L;校内100元/L;校外200元/L 开放 详细信息
台阶仪 1h 院内200元/小时(20元/样品);校内150元/小时(30元/样品);校外300元/小时(60元/样品) 开放 详细信息
匀胶显影机及热板 1h 院内免费;校内50元/小时;校外100元/小时。该设备单独使用时按本标准收费,与电子束曝光、紫外曝光等同时使用时免费。 开放 详细信息
近场光学扫描显微镜 1h 院内150元/小时;校内300元/小时;校外500元/小时 开放 详细信息
微波等离子体去胶机 1h 院内50元/小时;校内80元/小时;校外100元/小时 开放 详细信息
低温近场共聚焦及强磁场源 1h 校内800元/小时,校外1500元/小时,院内600元/小时 开放 详细信息
飞秒激光系统 1h 院内200元/小时;校内400元/小时;校外800元/小时; 开放 详细信息
共焦显微光谱探测系统 1h 院内100元/小时;校内120元/小时;校外150元/小时 开放 详细信息
快速退火炉 1h 校内50元/小时,校外100元/小时,院内30元/小时 开放 详细信息
光谱型椭偏仪 1h 院内100元/小时(20元/样次);校内150元/小时(30元/样次);校外200元/小时(40元/样次) 开放 详细信息
电子束蒸发镀膜机 1h 院内200元/小时;校内400元/小时;校外800元/小时 开放 详细信息
反应离子束刻蚀(RIE) 1h 院内250元/小时;校内400元/小时;校外500元/小时 开放 详细信息
离子体增强化学气相沉积(PECVD) 1h 院内250元/小时;校内400元/小时;校外500元/小时 开放 详细信息
纳米压印系统 1h 校内200元/小时,校外400元/小时,院内100元/小时 开放 详细信息
电子束刻蚀系统 1h 能谱仪:院内250元/小时,校内350元/小时,校外450元/小时;电子束曝光院内300元/小时,校内500元/小时,校外600元/小时;扫描电镜院内200元/小时,校内300元/小时,校外400元/小时 开放 详细信息
紫外曝光机 1h 院内300元/小时;校内450元小时;校外6000元小时 开放 详细信息