仪器设备

当前位置:首页» 仪器设备

台阶仪

发布日期: 2019-01-14

型号:Bruker Dektak XT

1、探针传感器:低惯性量传感器 (LIS 3);

2、低作用力:  1~15mg;   

3、探针曲率半径: 2um; 高径比针尖(HAR)10um×2um ;

4、样品 X/Y 载物台:  手动 X/Y(4英寸)

5、样品 R/Ɵ 载物台:  手动 ;

6、扫描长度范围:55mm (~2英寸);

7、单次扫描数据采集点:最大120,000;

8、最大样品厚度50mm (2英寸) ;

9、台阶高度重复性:  <5Å, 1 sigma on 0.1μm step;

10、垂直方向扫描范围: 1mm (0.039英寸) ;

11、垂直方向分辨率:  最高分辨率可达 1Å  (在6.55um测量范围内)

       探针根据设定的扫描长度、速度与接触力在样品表面移动,随着样品表面起伏而上下变化,表征样品表面的起伏变化。主要用于测量台阶高度、样品表面粗糙度等;在太阳能领域,Dektak XT作为测量单晶硅、对晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首选设备,可精确测量栅线的高度、宽度;为微机电系统(MEMS)研究提供了可靠的关键尺寸测量手段,确保器件满足要求。