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溅射镀膜仪

发布日期: 2019-01-14

型号规格:Q150R ES

功能指标:样品台: 直径50mm旋转样品台,具有6个可放置15mm、6.5 mm或1/8”SEM 样品托的位置;工作腔室: 硼硅酸盐玻璃 165mm(外径)X127mm(高);离子溅射电流 0-80mA,最长溅射时间60 min; 极限真空度 10-2mbar量级

功能特色:能在同一个紧凑系统中实现金属溅射、碳蒸镀和辉光放电三者之间的快速转换。对于SEM样品 制备,提高成像质量作用显著。 碳蒸镀插入头设计先进,电流参数完全可控,确保了SEM应用中一致的和可重复的碳沉积。